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包覆式活性碳滤网

标准尺寸厚度6寸、12寸,外框材质为金属框。滤材型式分为万用型、除酸性,除硷型三种,去除挥发性有机物、一般室外污染源、酸类以及氨及胺类。可使用于半导体产业及高精密电子产业。特性为低发尘量及低压损,适用于空调箱及机台设备端。

选用要则:针对不同的化学气体,可选用不同的滤材型式,以达到最好的处理效果。
1.针对所要过滤的污染物选择适当的吸附剂材料
2.去除效率高
3.低压损以降低风机的负载
4.低发尘量
5.低挥发性气体
6.便于安装要求质轻
7.针对要求的效率下去除容量要大即寿命长,以减少更换次数也确保制程环境的洁净度

※853(2750)滤材-去除挥发性有机物、二氧化硫、二氧化氮、臭氧、硫化氢,此滤材为最有效去除挥发性有机物的滤材,同时它对一般室外的污染物有相当可观的容量,如二氧化硫、二氧化氮、臭氧、硫化氢,此滤材对于去除硼也非常有效(例如:常用的HEPA及ULPA滤网)
※147(2752)滤材-用于去除氨及胺类(含有氮的有机化合物,如NMP,monoethylamine,morpholine,cyclohexylamine,dimethylamine,trimehylamine,diehylamine,HMDS等)
※875(2751)滤材-对除二氧化硫、二氧化氮、臭氧、硫化氢也非常有效。【比853(2750)滤材效果还好】
※147(2752)及875(2751)两种滤材都可以去除挥发性有机物,然而,使用寿命与853(2750)滤材相较减少了一半。
外框:框材可选用纸框,镀锌铁框或不锈钢框
外框设计:箱型、单法兰、双法兰

风量关系曲线图

活性碳滤网性能表-包覆式活性碳滤网

材质和使用条件

1. 控制臭味和气体污染之的四种方式:防毒面具、燃烧、通风与移除。
2. 颗粒状滤材用来控制气体气体污染物有两种方式:吸附与氧化。
3. 化学滤网以吸附与吸著原理来移除气体污染物分子。
4. 吸附:当气体或液体分子碰到吸附体表面被抓著且无发生化学反应。
5. 吸著:当气体或液体分子碰到吸附体表面被抓著且发生化学反应。
6. 被吸附物质的沸点、蒸气压及活性是影响初效率的主要因素。一般沸点大于100℃的物质室温下的状态为液态,其蒸气较易于吸附凝结在吸附剂的表面。
7. 分子性污染物系统,最初的污染物去除效率,并非由活性碳颗粒大小、重量及活性决定。决定初效率 的两个因素为吸收体及化学物的表面积。
8. 活性碳颗粒越细,其表面积越大。活性碳颗粒可以非常小,甚至为碳尘。此将会随气流溢散或因填充密实而产生高压损等缺点。
9. 不同分子量的污染物均可竞争相同的吸附表面,由于湿气会占据吸附表面固通常潮湿的天气下吸附效率会较差。温度亦会影响吸附效率,温度越高物理吸附能力越低。
10. 分子量小、沸点点在常温为气态的物种,因吸附剂表面无法凝结液化,不易稳定附著在吸附剂表面,容易脱离氧化或被其它分子取代。


Typical Compounds of Class A, B, C, D (according SEMI F21-95)

AMC(Airborne Molecular Contamination)分类方法为SEMI(Semiconductor Equipment And Materials International)组织在SEMI F21-95中对AMC气态污染物所做的分类,包括酸性(Acids)、碱性(Bases)、可凝结物(Condensables)及植入物(Dopants),所属污染物质如下:


点击数:3647  录入时间:2012-12-6 【打印此页】 【返回
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